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本发明提供一种基于类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面完全等光程共焦成像检测装置与方法，包括光源、纵向同轴设置的相机、远心成像镜头、半透半反射平行平板合像器以及玻璃载物转盘、半导体晶粒，半透半反射平行平板合像器同一水平高度设置有平行平板补偿器及...
该专利属于泉州师范学院所有，仅供学习研究参考，未经过泉州师范学院授权不得商用。

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