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本发明公开了一种阵列式汽车油箱液位测量压力传感器及其制备方法，属于压力传感器技术领域，采用飞秒激光光丝实现图案化高浓度掺杂，制备出压敏电阻，采用飞秒直写系统对注入层进行退火处理，沉积钝化层并通过光刻、刻蚀得到接触孔，通过光刻、磁控溅射得到金...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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