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本申请涉及一种曲面样品顶点定位方法、装置和椭偏仪，该方法包括：获取清晰的样品图像；在所述清晰的样品图像上确定基准点，以所述基准点建立三维坐标系；在所述三维坐标系内以第一步长确定多个采集点；在预设波长范围内，采集每个所述采集点处的光强值；将数...
该专利属于北京量拓科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京量拓科技有限公司授权不得商用。

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