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一种喷射增强真空系统技术方案
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文档序号:26686175
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本发明提供的喷射增强真空系统,包括:真空泵单元、喷射器增强单元、冷箱及制冷单元,所述真空泵单元包括一级真空泵及二级真空泵,所述喷射器增强单元包括第一阀门、第二阀门、第三阀门、喷射器、第一压力计及第二压力计,所述制冷单元包括换热器、膨胀机及节...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。
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