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一种通过调制强流脉冲电弧制备ta-C涂层的方法技术
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下载一种通过调制强流脉冲电弧制备ta-C涂层的方法的技术资料
文档序号:26684462
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本发明涉及真空镀膜涂层制备领域,具体涉及一种通过调制强流脉冲电弧制备ta‑C涂层的方法,包括以下步骤:(1)形成基础层:通过调制电磁驱动的电弧放电沉积金属层或金属与C和/或N的化合物,即为基础层;(2)形成ta‑C层:通过调制强流脉冲电弧形...
该专利属于温州职业技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过温州职业技术学院授权不得商用。
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