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本发明公开了一种恒温液槽。所述恒温液槽包括液体循环模块、换热模块以及控制模块，其中，液体循环模块为密闭结构；液体循环模块包括水箱、液体管道、水泵以及隔热板，换热模块包括第一热电组件和第二热电组件，第一热电组件和第二热电阻件分别紧贴于液体管道...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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