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本发明提供了一种激光散斑相移检测头,包括设于检测头机壳内的半导体激光器、光电转换器、光学镜头及剪切镜、扩束镜,半导体激光器和光电转换器固定于检测头机壳底座上;扩束镜设于半导体激光器前端,与半导体激光器位于同一光轴上,且扩束镜与半导体激光器连...该专利属于广州华工百川科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广州华工百川科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种激光散斑相移检测头,包括设于检测头机壳内的半导体激光器、光电转换器、光学镜头及剪切镜、扩束镜,半导体激光器和光电转换器固定于检测头机壳底座上;扩束镜设于半导体激光器前端,与半导体激光器位于同一光轴上,且扩束镜与半导体激光器连...