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本发明提供了一种微机电装置的制造方法，所述方法包括：通过从基板除去材料而在所述基板中界定至少一个隐藏支撑；将所述至少一个隐藏支撑贴附到包括至少一个致动电极的晶片，所述致动电极能致动所述基板的至少一部分，其中所述基板的旋转轴基本垂直于所述隐藏...
该专利属于麦克罗尼克激光系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦克罗尼克激光系统公司授权不得商用。

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