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可适应性扫描光学显微镜制造技术
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下载可适应性扫描光学显微镜的技术资料
文档序号:2666362
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本发明是关于一种可适应性扫描光学显微镜。在这种可适应性扫描光学显微镜中装有一个扫描透镜组装部件,能够从目标平面的不同部分获取图像,然后形成更加合适的弯曲像场。在形成的像场中,至少会有一些像差,所述像差作为成像部位在目标平面上位置的函数变化。...
该专利属于伦斯勒理工学院所有,仅供学习研究参考,未经过伦斯勒理工学院授权不得商用。
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