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本发明涉及一种使用ＭＥＭＳ微镜构建的、用于测触摸物的坐标的光学扫描系统。本发明使用偏转角度与驱动电压或电流成一定函数关系的ＭＥＭＳ微反射镜作为光反射元件，在光学组件的光路上安装有激光源、透射面面对光源的半反射镜，以及面向半反射镜的反射面光学...
该专利属于北京汇冠新技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京汇冠新技术股份有限公司授权不得商用。

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