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本发明涉及到光阑，特别是一种应用于扫描电子显微镜中的微孔和小孔光阑的紫外激光微加工系统和方法。主要由紫外激光器、计算机、扫描振镜系统、被加工材料钼薄片、工作台和夹具构成，通过激光微钻孔和激光微切孔两种方法加工不同孔径的光阑。对于１５μｍ～５...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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