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本发明涉及用于形成聚对二甲苯膜的沉积室。沉积室的非限制性实例包括室本体、将室本体耦合到炉膛的入口以及将室本体连接到真空泵的出口。沉积室包括布置在室本体的表面上的至少一个加热元件。加热元件被配置为在室的整个内部体积内将沉积室本体的内部温度升高...
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