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本发明提供一种高效太阳能PERC‑SE电池的氧化工艺，采用管式低压氧化炉制备，包括如下步骤：开门：将激光掺杂后的硅片于载舟装片，装片结束后放置于炉桨上准备进舟工艺，炉内通入氮气，炉门打开；进舟：炉门打开，开始运行，炉桨将载舟送入炉腔；抽压：...
该专利属于江苏润阳悦达光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏润阳悦达光伏科技有限公司授权不得商用。

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