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本发明公开了基于场效应晶体管结构的X射线探测器及其制备方法，包括可以吸收X射线的X射线吸收层、半导体沟道层、栅极电极、栅极介电层、源极电极、漏极电极以及衬底，当X射线入射到X射线探测器的X射线吸收层后，在X射线吸收层中产生电子‑空穴对，这些...
该专利属于深圳中芯光宇科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中芯光宇科技有限公司授权不得商用。

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