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一种基于圆盘超表面结构窄带滤光的集成化光电探测器件制造技术
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下载一种基于圆盘超表面结构窄带滤光的集成化光电探测器件的技术资料
文档序号:26652410
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本发明公开了一种基于圆盘超表面结构窄带滤光的集成化光电探测器件,该探测器件结构自下而上分别为:底部电极结构,半导体层,金属薄膜层,介质层以及顶部的金属圆盘结构。其中圆盘超表面结构支持的等离激元共振模式与超表面结构‑介质层‑金属薄膜层支持的腔...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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