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一种基于有机薄膜晶体管的氨气传感器及其制备方法技术
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文档序号:26649657
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本发明公开了一种基于有机薄膜晶体管的氨气传感器及其制备方法,属于传感器制备技术领域,从下到上依次包括衬底、栅电极、介电层、半导体层、源电极和漏电极,所述介电层由第一介电层和第二介电层组成的双介电层结构,所述第一介电层为机介电材料,所述第二介...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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