下载一种基于有机薄膜晶体管的氨气传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:26649657

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本发明公开了一种基于有机薄膜晶体管的氨气传感器及其制备方法,属于传感器制备技术领域,从下到上依次包括衬底、栅电极、介电层、半导体层、源电极和漏电极,所述介电层由第一介电层和第二介电层组成的双介电层结构,所述第一介电层为机介电材料,所述第二介...
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