下载连续直拉单晶棒工艺的技术资料

文档序号:26647099

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本发明公开了一种能够实现单晶硅棒连续成晶,保证硅棒品质的连续直拉单晶棒工艺。该连续直拉单晶棒工艺采用连续直拉单晶炉,还包括以下步骤:S1、向双层坩埚的内层坩埚筒内添加硅料;S2、通过惰性气体进口通入惰性气体,然后由惰性气体吸气口吸出惰性气体...
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