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本发明涉及一种激光清洗装置和方法，具体涉及一种基于共轴测距和焦距实时可调的激光清洗方法及装置，解决现有激光清洗方法存在无法克服的人工手持抖动以及工件表面结构复杂所带来的清洗效果不佳的问题。本发明方法中，通过清洗激光与测距激光共轴传输，聚焦到...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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