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基于金属表面等离子激元的微型阵列滤光片制造技术
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下载基于金属表面等离子激元的微型阵列滤光片的技术资料
文档序号:2663955
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本发明公开了一种基于金属表面等离子激元的微型阵列滤光片。它是在光学基板上设有多个阵列单元,每个阵列单元中间设有一个亚波长细缝,亚波长细缝两侧间隔设有多个入射面或出射面或入射面和出射面对称分布的线性栅格凹槽,线性栅格凹槽的间距与线性栅格凹槽的...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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