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本发明涉及集成光学光波导制作领域，具体的讲是涉及一种高温质子交换的ＬｉＮｂＯ↓［３］光波导制造方法，该方法在铌酸锂基片上制作无相变的波导，制作出的波导主要适用于光纤陀螺的多功能芯片，该波导制造方法依次完成熔料工序、质子交换工序、退火工序和反...
该专利属于上海亨通光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海亨通光电科技有限公司授权不得商用。

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