下载焦点位置决定方法、焦点位置决定装置、微弱光检测装置及微弱光检测方法的技术资料

文档序号:2663592

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目的是提供一种在将试料内的特定的部位作为观察对象部位进行该观察对象部位的发光观察的情况下、在设置了试料的时刻能够决定对准于该观察对象部位的物镜的焦点位置的焦点位置决定方法、焦点位置决定装置等。本发明向试料照射光,变更物镜的焦点位置,测量变更...
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