下载一种集成光子芯片与阵列光纤自动对准的机械装置的技术资料

文档序号:2662096

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本发明公开了一种集成光子芯片与阵列光纤自动对准的机械装置,在底板(100)上设有中间运动平台(200),在所述的底板(100)上设有以所述的中间运动平台(200)左右对称分布的两台六维高精度运动平台。本发明设有六维高精度的运动平台和其紧凑、...
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