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本实用新型是以Ｓｉ－ＭＯＳ型Ａｌ－［２］Ｏ－［３］湿度传感器为测湿元件的湿度测量仪．它采用α相Ａｌ－［２］Ｏ－［３］作为ＭＯＳ结构的氧化层并以正交分量法电容测量仪作为二次仪表，可重复稳定地测量－８０℃～＋１０℃露点范围的绝对湿度和０－１００...
该专利属于中国科学院上海冶金研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海冶金研究所授权不得商用。

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