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本实用新型提供了一种混合气体在线监测仪,包括监测仪壳体,所述壳体底部连接有用于检测不同气体的气体传感器,所述壳体内设置有主控电路板及与所述主控电路板电性连接的温度传感器,所述气体传感器种类设置有至少两种,且均与所述主控电路板电性连接,所述壳...该专利属于苏州天华超净科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州天华超净科技股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供了一种混合气体在线监测仪,包括监测仪壳体,所述壳体底部连接有用于检测不同气体的气体传感器,所述壳体内设置有主控电路板及与所述主控电路板电性连接的温度传感器,所述气体传感器种类设置有至少两种,且均与所述主控电路板电性连接,所述壳...