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彩色太阳能电池用叠层膜及制备方法和彩色太阳能电池技术
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文档序号:26603456
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本发明公开了一种彩色太阳能电池用叠层膜及制备方法和彩色太阳能电池,所述叠层膜包括四层介质膜,自下而上依次为第一氮化硅膜、第一氮氧化硅膜、第二氮化硅膜和第二氮氧化硅膜;所述叠层膜的制备方法是将硅片送入PECVD炉管内,分层叠加沉积介质膜;所述...
该专利属于常州时创能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州时创能源股份有限公司授权不得商用。
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