下载半导体装置用接合线的技术资料

文档序号:26603221

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提供一种接合线,其是在表面具有Pd被覆层的Cu接合线,改善了高温高湿环境下的球接合部的接合可靠性,适合于车载用设备。一种半导体装置用接合线,具有Cu合金芯材和形成于其表面的Pd被覆层,接合线含有合计为0.1~100质量ppm的As、Te、S...
该专利属于日铁新材料股份有限公司;日铁化学材料株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日铁新材料股份有限公司;日铁化学材料株式会社授权不得商用。

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