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一种基于硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构制造技术
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文档序号:26603140
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本发明创造提供了一种基于硅片插片清洗机插片稳定性增强的机构,包括外部框架、安装在外部框架上的竖向移动模组、以及安装在移动模组上的片篮夹紧组;片篮夹紧组包括承载装置、安装在承载装置上的回弹装置、以及位于承载装置上方的扶正装置;承载装置滑动安装...
该专利属于天津环博科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津环博科技有限责任公司授权不得商用。
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