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本发明提供一种改善双激光退火过程中晶圆表面热分布的方法，将晶圆表面划分为第一至第N区域；第一区域为沿所述晶圆边缘的弧线；将弧线的中点定义为所述晶圆底部中点；第二至第N区域为从晶圆底部中点开始，沿晶圆底部中点所在直径依次向晶圆顶部分布的弧面；...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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