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一种“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺制造技术
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下载一种“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺的技术资料
文档序号:26602651
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本实用新型公开了一种“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺,包括敏感层和盖板,敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四对加热器和四根热敏电阻,敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽;一对加热器和一根热敏电阻构成一个测量单元;四对加热器的通电方式为...
该专利属于北京信息科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京信息科技大学授权不得商用。
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