下载一种“一”字型推挽流微机械单轴薄膜陀螺的技术资料

文档序号:26602649

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种“一”字型推挽流微机械单轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板,敏感层的上表面设置有呈“一”字型结构的两对加热器和两对热敏电阻,敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽;一对加热器和一对热敏电阻构成一个测量单元;两对加热器的通电方式为周...
该专利属于北京信息科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京信息科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。