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本实用新型公开了一种平面度检测设备，包括机架、上方检测系统、上方XY搬运系统、治具系统、下方检测系统及下方XY搬运系统，所述上方检测系统和上方XY搬运系统安装固定在治具系统上，所述下方检测系统、下方XY搬运系统及机架设于治具系统下方，所述下...
该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大族激光科技产业集团股份有限公司授权不得商用。

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