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本发明提供一种旁热式硅基薄膜催化氢气传感器，本氢气传感器通过MEMS加工工艺获得，包括硅基底，所述硅基底上表面设有绝热层，所述硅基底下表面开有一个或一对延伸至所述绝热层的绝热槽，所述绝热层表面设有一对高电阻温度系数材料组成的加热线圈，所述加...
该专利属于苏州芯镁信电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州芯镁信电子科技有限公司授权不得商用。

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