下载可拆分使用的半导体石墨坩埚及其拆分方法的技术资料

文档序号:26586696

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了可拆分使用的半导体石墨坩埚,包括底板、驱动机构、点火机构、螺旋组件、铰接组件,底板顶面四个拐角内侧均设有支撑杆,每根支撑杆顶端均设有支撑块,支撑块下方安装有驱动机构;底板顶面中部设有底筒,位于限火环下方在底板中部安装有点火机构;...
该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。