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本发明公开了一种半导体材料处理系统，包括支架，所述支架底端四角处均固定安装有支撑杆，所述支撑杆顶端和支架顶端边部均固定安装有防护套，所述支架底端中部等距安装有固定杆，通过转动定位清理机构，能够增加石墨坩埚移动时的稳定性，同时能够对石墨坩埚外...
该专利属于杨文伟所有，仅供学习研究参考，未经过杨文伟授权不得商用。

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