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本发明公开了一种单晶炉热场用半导体石墨坩埚及其使用方法,包括单晶炉本体，单晶炉本体纵向固接在底板的顶面中部上，外壳的底面轴向设有内壳，内壳的底面中部轴向固接有石墨坩埚，石墨坩埚的底部轴向设有石英坩埚，每根导向杆上均滑动连接有下部保温筒，下部...
该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。

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