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本发明公开了一种解决钛合金叶轮汽蚀的TiN沉积膜工艺方法。包括有以下步骤:(1)镀前检验;(2)清洗;(3)挂件;(4)抽真空;(5)加热;(6)辉光清洗;(7)溅射清洗;(8)过渡层沉积;(9)TiN膜层制备;(10)冷却;(11)检验。...该专利属于中国航发贵州红林航空动力控制科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国航发贵州红林航空动力控制科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种解决钛合金叶轮汽蚀的TiN沉积膜工艺方法。包括有以下步骤:(1)镀前检验;(2)清洗;(3)挂件;(4)抽真空;(5)加热;(6)辉光清洗;(7)溅射清洗;(8)过渡层沉积;(9)TiN膜层制备;(10)冷却;(11)检验。...