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提供了一种用于离子注入系统（１０）的改进的中性粒子检测器（５２），用于检测主要包括中性粒子和正电荷离子的离子束的中性粒子含量。中性粒子检测器（５２）包括（ｉ）位于负电位的偏束板（７８）；（ｉｉ）相对于偏束板（７８）为正电位的第一收集电极（８...
该专利属于艾克塞利斯技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过艾克塞利斯技术公司授权不得商用。

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