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离子束检测装置和方法制造方法及图纸
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文档序号:2657694
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本发明涉及一种离子束检测装置,包括:一个检测头(110),其包含一个闪烁体(114,115)和连接着所述闪烁体的至少一个离子射线扩散块(116,117);以及一个第一成像装置(118),其用于由检测头中的至少一个包含所述闪烁体的部分形成至少...
该专利属于国立科学研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过国立科学研究中心授权不得商用。
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