下载高效的圆晶棒升降式除尘设备的技术资料

文档序号:26575087

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种高效的圆晶棒升降式除尘设备,包括机架组件、除尘组件、平衡组件、喷淋组件。除尘组件安装在机架组件中间位置,对晶棒起到擦拭的效果。平衡组件与除尘组件相连接,用于调节棉布轮的位置。喷淋组件安装于除尘组件的两侧,用于清洗晶棒。晶棒在...
该专利属于杭州中为光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州中为光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。