下载一种多工位开方机机头的技术资料

文档序号:26546811

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本实用新型涉及一种多工位开方机机头,属于晶硅加工设备技术领域,包括机头框架,所述机头框架上垂直交错的设置有经向轮组和纬向轮组,所述经向轮组和纬向轮组不位于同一平面内,所述机头框架的下方设置多组导向轮组,所述经向轮组和纬向轮组分别由驱动装置驱...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。

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