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本申请提供一种光波导结构及其制造方法，所述光波导结构具有：形成于金刚石晶体中的折射率调制区域，所述折射率调制区域的折射率不同于所述金刚石晶体的折射率；以及形成于所述金刚石晶体中的非折射率调制区域，所述非折射率调制区域的折射率与所述金刚石晶体...该专利属于上海新微技术研发中心有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。