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一种用于转移器官芯片中多孔PDMS薄膜的方法技术
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文档序号:26525416
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本发明提供了一种用于转移器官芯片中多孔PDMS薄膜的方法,包括:在衬底上旋涂光刻胶,再对光刻胶进行曝光处理;对曝光后的光刻胶进行表面氧等离子处理,在其上旋涂PDMS薄膜,固化;将所述固化后的PDMS薄膜光刻图形化;将图形化后的PDMS薄膜与...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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