下载具备非圆柱形平台的垂直腔面发射激光器及其制备方法的技术资料

文档序号:26509910

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本发明提供具备非圆柱形平台的垂直腔面发射激光器及其制备方法,所述激光器包括衬底、位于所述衬底之上的第一镜层、位于所述第一镜层之上的活化层和位于所述活化层之上的第二镜层,所述第二镜层、所述活化层和靠近所述活化层的部分所述第一镜层经过蚀刻之后形...
该专利属于北京金太光芯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京金太光芯科技有限公司授权不得商用。

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