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本发明公开了一种222nm波长深紫外脉冲激光源，属于激光器技术领域。利用激光二极管泵浦Nd:YAG晶体电光调Q激光器产生的1064nm基频激光脉冲在腔内三倍频获得355nm激光脉冲，将该355nm激光脉冲作为光学参量振荡器的泵浦激光，以获得...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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