下载一种电极预置焊料的光导开关及制作方法的技术资料

文档序号:26509201

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本发明公开了一种电极预置焊料的光导开关,包括碳化硅衬底及两个电极,两个电极设置于碳化硅衬底的第一表面和或第二表面上,电极包括依次堆叠的Ni层、TiW层、Pt层、第一Au层、第二Au层及Sn层,且Ni层位于靠近碳化硅衬底一侧,其中第二Au层和...
该专利属于上海航天电子通讯设备研究所所有,仅供学习研究参考,未经过上海航天电子通讯设备研究所授权不得商用。

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