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本公开提供了一种掺杂碳源和垂直舟装置。掺杂碳源为内外径均沿轴向上大下小的母空心锥台;母空心锥台包括沿轴向能够堆叠的多个子空心锥台,各子空心锥台的内外径均形成为沿轴向上大下小,母空心锥台配置成:在首次使用时,多个子空心锥台沿轴向堆叠在一起使用...该专利属于广东先导先进材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东先导先进材料股份有限公司授权不得商用。
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本公开提供了一种掺杂碳源和垂直舟装置。掺杂碳源为内外径均沿轴向上大下小的母空心锥台;母空心锥台包括沿轴向能够堆叠的多个子空心锥台,各子空心锥台的内外径均形成为沿轴向上大下小,母空心锥台配置成:在首次使用时,多个子空心锥台沿轴向堆叠在一起使用...