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一种多晶硅的分凝装置制造方法及图纸
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文档序号:26508315
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本实用新型提供了一种多晶硅的分凝装置,包括底座,底座上固定有呈一字形排列的若干支架,支架上分别设置有可旋转的分凝容器,分凝容器还分别与一翻转机构相连,底座上设置有下料机构,下料机构包括若干下料架,若干下料架固定在底座上,且下料架呈一字形分布...
该专利属于浙江溢闳光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江溢闳光电科技有限公司授权不得商用。
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