下载PN结样品的获取方法的技术资料

文档序号:26502543

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本发明提供了一种PN结样品的获取方法。通过在预制备体的互连结构层中形成开窗,以使蚀刻溶液可以通过开窗,实现从预制备体的顶部和PN结进行反应,因此在将预制备体浸入至蚀刻溶液之前可以不执行切割过程,有效减少了切割工艺的执行次数,并且在PN结和蚀...
该专利属于合肥晶合集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥晶合集成电路有限公司授权不得商用。

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