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本实用新型涉及一种基于金属多孔材料的三维椭圆振动柔性装置，属于光学零件加工技术领域。刀具通过螺栓固定在柔性基体的T型刀座中间的刀槽中，竖直方向压电叠堆头部与直板型柔性铰链接触、下端通过螺栓拧紧预紧块预紧，电容位移传感器夹紧在传感器夹持上，水...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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