下载抑制引晶硅液面抖动的石英坩埚及其制备方法的技术资料

文档序号:26496429

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本发明的抑制引晶硅液面抖动的石英坩埚包括天然石英砂熔制气泡层、天然石英砂熔制透明层、合成石英砂熔制透明层、诱发结晶层,所述天然石英砂熔制气泡层为抑制引晶硅液面抖动的石英坩埚的最外层,天然石英砂熔制透明层位于天然石英砂熔制气泡层的内侧,合成石...
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